三坐標即三坐標測量機,它是指在三維可測的空間范圍內,能夠根據測頭系統返回的點(diǎn)數據,通過(guò)三坐標的軟件系統計算各類(lèi)幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器,又稱(chēng)為三次元、三坐標測量機、三坐標測量?jì)x。
三坐標測量?jì)x可定義為一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器,可在三個(gè)相互垂直的導軌上移動(dòng),此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號,三個(gè)軸的位移測量系統(如光學(xué)尺)經(jīng)數據處理器或計算機等計算出工件的各點(diǎn)坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器。
如何減少三坐標測量誤差?三坐標直接用激光干涉儀等測量單項原始誤差,能以較高的精度檢測到這些誤差值。不足之處,是激光干涉儀價(jià)格昂貴、對環(huán)境條件要求高、對操作者的技術(shù)水平的要求也較高。
三坐標測量?jì)x誤差檢測方法可以分成兩大類(lèi):一類(lèi)是用激光干涉儀等儀器檢測三坐標測量機的各個(gè)單項原始誤差;另一類(lèi)是用球列、球板等實(shí)物基準檢測檢測三坐標測量機的綜合誤差,然后分解出原始誤差。
在分解各項原始誤差時(shí),一項重要基礎是三坐標測量機本身有很好的重復性。球列、球板等實(shí)物基準需通過(guò)激光干涉儀進(jìn)行檢定,對球板本身的穩定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項誤差時(shí),難免有交叉影響,分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則,一般步距或球間距不易做得很小,不像激光干涉儀可對三坐標測量?jì)x的各項誤差進(jìn)行連續檢測?!?/div>